水下γ能譜儀是一種分析物質(zhì)元素的儀器，常與掃描電鏡或者透射電鏡聯(lián)用，在真空室下用電子束轟擊樣品表面，激發(fā)物質(zhì)發(fā)射出特征x射線，根據(jù)特征x射線的波長(zhǎng)，定性與半定量分析元素周期表中B－U的元素，EDS可提供樣品表面之微區(qū)定性或半定量之成份元素分析，以及特定區(qū)域之point、linescan、mapping分析。

 

　　水下γ能譜儀活度測(cè)量功能，配置的能譜分析程序具有重峰解析功能，且內(nèi)置不同能量射線的探測(cè)效率曲線（考慮飽和體積），定量測(cè)量水中放射性。活度測(cè)量功能，配置的能譜分析程序具有重峰解析功能，且內(nèi)置不同能量射線的探測(cè)效率曲線（考慮飽和體積），定量測(cè)量水中放射性。

 

　　EDS的分析方式有點(diǎn)分析、線分析和面分析；點(diǎn)分析得到一點(diǎn)的所有元素；線分析每次對(duì)的一條線做一種元素分析，多次掃描得到所有元素的線分布；面分析對(duì)一個(gè)面內(nèi)的所有元素分析，測(cè)得元素含量是測(cè)量面范圍的平均值；

 

　　瀑布圖與能譜耦合測(cè)量活度功能，選取瀑布圖上異常的時(shí)間段，可以獲得該時(shí)間段內(nèi)的累積譜，然后進(jìn)行能譜分析，計(jì)算活度；在地圖或者海圖上顯示劑量率等測(cè)量結(jié)果；放射性活度隨時(shí)間變化連續(xù)顯示；定制數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)通信鏈路、數(shù)據(jù)遠(yuǎn)程傳輸模式；數(shù)據(jù)就地存儲(chǔ)、回放功能。

 

　　X射線的自然寬度對(duì)譜儀的分辨率影響很大，為了提高譜儀的分辨率就要使X射線單色化，大大減小X射線的譜線寬度。X射線的單色性越高，譜儀的能量分辨率也越高。

 

　　紫外光電子能譜儀中使用的高強(qiáng)度單色紫外線源常用稀有氣體的放電共振燈提供。電子槍的關(guān)鍵部件是電子源和用于電子束聚焦、整形和掃描的透鏡組件。電子源可用熱電離發(fā)射或場(chǎng)發(fā)射。